[发明专利]一种衬底片旋转腐蚀清洗设备及其清洗方法在审
| 申请号： | 202010994444.7 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112222062A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李祥彪;仲崇贵;杨培培 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67;H01L21/683;C11D7/04;C11D7/08;C11D7/60 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 许洁 |
| 地址： | 226000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衬底片旋转腐蚀清洗设备及清洗方法，包括工艺腔、旋转机构系统、有机溶剂供给系统、清洗液供给系统、纯水供给系统、供气系统、机械手、回收系统和控制系统；工艺腔内包含衬底片固定装置和喷淋臂；旋转机构系统由电机系统与衬底片固定装置相连；有机溶剂供给系统开启时向工艺腔内输入有机溶剂；清洗液供给系统开启时向工艺腔内输入清洗液；供气系统由管路与喷淋臂连通；机械手自动实现衬底片的传递；回收系统用于排出工艺腔内的气体与废清洗液；控制系统由可编程式控制器及触摸人机界面组成。本发明方案采用有机溶剂、酸性清洗液、碱性清洗液等对衬底片表面进行清洗，溶解去除残留有机物、金属离子等，从而得到表面洁净的衬底片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 旋转 腐蚀 清洗 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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