[发明专利]双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置和方法

摘要

本发明涉及双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置和方法，该装置包括CO2激光器、顺次连接的激光器、若干个扩束器、若干个反射镜、若干个贝塞尔模组以及运动平台，运动平台位于贝塞尔模组的下方，CO2激光器位于贝塞尔模组的上方。本发明通过设置激光器，由激光器发射出激光束后，经过扩束镜、反射镜的处理，到达贝塞尔模组进行处理，从两个贝塞尔模组分别输出对应的两束激光束到达材料的两面，且同轴入射以及尾部叠加，最后采用CO2激光器进行裂片处理，使用双贝塞尔光激光束在材料内部对接的加工方式实现厘米量级甚至几十厘米量级厚度等厘米量级深度透明材料的切割。