[发明专利]双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置和方法在审
| 申请号： | 202010987546.6 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN111958134A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张杰;陈蔚;陶沙;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双束贝塞尔 激光 双面 加工 透明 材料 装置 方法 | ||
1.双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置，其特征在于，包括CO2激光器、顺次连接的激光器、若干个扩束器、若干个反射镜、若干个贝塞尔模组以及运动平台，所述运动平台位于所述贝塞尔模组的下方，所述CO2激光器位于所述贝塞尔模组的上方。
2.根据权利要求1所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置，其特征在于，所述激光器的个数为两个。
3.根据权利要求1所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置，其特征在于，所述激光器的个数为一个。
4.根据权利要求3所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置，其特征在于，还包括分光器，所述分光器与所述激光器连接。
5.根据权利要求2至4任一项所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置，其特征在于，所述扩束器的两侧连接有所述反射镜。
6.根据权利要求5所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的装置，其特征在于，所述激光器输出的激光束的波长为1064nm和532nm。
7.双束贝塞尔激光双面加工透明材料的方法，其特征在于，包括：
将材料置于运动平台表面；
启动激光器，激光器发射脉冲激光束，脉冲激光束经反射、扩束以及贝塞尔模组处理后从材料的两面同轴射入且尾部重叠，以进行材料改性；
CO2激光器输出激光束，运动平台带动所述材料运动，激光束按照预设规格切割材料。
8.根据权利要求7所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的方法，其特征在于，脉冲激光束所输出的红外波长为1030nm至1064nm，脉冲激光束所输出的绿光波长为515nm至532nm，激光器发射的脉冲激光束与CO2激光器输出的激光束达到样品时间弛豫50皮秒至50纳秒。
9.根据权利要求8所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的方法，其特征在于，脉冲激光束的脉宽包括皮秒脉宽和飞秒脉宽，所述皮秒脉宽为6ps至25ps，所述飞秒脉宽为250fs至950fs。
10.根据权利要求9所述的双束贝塞尔激光双面加工透明材料的方法，其特征在于，所述CO2激光器输出的激光束的波长为9.6um至10.6um。
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