[发明专利]一种单晶金刚石生长过程中的监测装置在审
| 申请号： | 202010976204.4 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112197728A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 侯荣华;彭俊杰;王红雪;刘敏强;宁树兴;柴喜红;文首名 | 申请（专利权）人： | 北京清碳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01D21/00 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 李德胜 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区林河经济开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明适用于单晶金刚石生产设备技术领域，提供了一种单晶金刚石生长过程中的监测装置；包括：底座；固定安装在底座上的文丘里管、第一混合腔、第二混合腔、电离室和沉积室；所述沉积室上设置有观察窗，所述底座上固定安装有支架，所述支架上设置有位置可调的监测设备，所述监测设备设置在观察窗的上方；所述文丘里管、第一混合腔、第二混合腔、电离室和沉积室依次连通；所述文丘里管的颈部设置有与其内部连通的第一输入端。本发明实现了对金刚石成长情况的检测，同时保证了金刚石的成长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 过程 中的 监测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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