[发明专利]一种高性能锆基稀土合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010970573.2 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112176301A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 鲁涛 | 申请（专利权）人： | 上海晶维材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C22C16/00;C22C1/02 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 200333 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高性能锆基稀土合金薄膜吸气靶材及其制备方法，所述锆基稀土合金薄膜吸气剂靶材的合金配方如下：以质量百分比分别配比钛基二元合金配方锆基二元合金Zr |
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| 搜索关键词： | 一种 性能 稀土 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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