[发明专利]一种环形三轴解耦微陀螺仪有效
| 申请号： | 202010969386.2 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112212849B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 夏敦柱;张兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 许小莉 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环形三轴解耦硅微陀螺仪的结构，包括上层的器件结构层、下层的玻璃衬底层以及生长于玻璃衬底层上的金属引线层，器件结构层为环形对称结构，包括驱动传递框架，内耦合环，翻滚角、俯仰角检测质量圆盘，航向角检测框架，其中，45°、135°、225°、315°方向上四个驱动传递框架通过内耦合环连接，实现等幅差分驱动和差分检测；内耦合环通过工字型解耦梁与三轴检测部分相连，实现了驱动和三轴检测之间较好的解耦功能；翻滚角和俯仰角检测通过翻滚角、俯仰角检测质量圆盘和对应的翻滚角金属电极薄膜，俯仰角金属电极薄膜构成翻滚角和俯仰角检测部分，航向角检测部分通过四组航向角检测框架进行航向角检测，能够达到较好的检测性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 三轴解耦微 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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