[发明专利]一种DBC基板两面铜箔同时烧结时用的垫板及其制备方法有效
申请号: | 202010966575.4 | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN112142498B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 祝林;贺贤汉;戴洪兴 | 申请(专利权)人: | 上海富乐华半导体科技有限公司 |
主分类号: | C04B41/89 | 分类号: | C04B41/89 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 陆叶 |
地址: | 200444 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种DBC基板两面铜箔同时烧结时用的垫板及其制备方法。一种DBC基板两面铜箔同时烧结时用的垫板,包括从上至下依次设置的MgO烧结层、氧化铝溶射层以及SiC陶瓷板;MgO烧结层的厚度为1~10μm;氧化铝溶射层的厚度为15~25μm;SiC陶瓷板的厚度为1mm~5mm。本专利采用SiC陶瓷板作为烧结垫板的基体材料,氧化铝溶射层以及MgO烧结层,可确保垫板不与铜片粘合在一起或在铜片表面留下接触痕迹、或使铜片熔化,同时MgO烧结层不易脱落而污染烧结炉膛,提高了产品的良率和生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 dbc 两面 铜箔 同时 烧结 垫板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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