[发明专利]电容式微机械气压传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010965714.1 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112284608B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供一种电容式微机械气压传感器及其制备方法。电容式微机械气压传感器包括：衬底，设置有气腔和气体传输通道，所述气体传输通道将所述气腔与外界连通；分布式电容阵列，设置在所述衬底内，所述分布式电容阵列之间设置有所述气体传输通道；导电介质，可移动地设置在所述气体传输通道中；加热件，设置在所述衬底内，并与所述气腔相对应，以通过加热所述气腔内的气体推动所述导电介质在所述气体传输通道内移动。利用移动的导电介质代替形变的机械薄膜，避免了残余应力、热应力、非线性等带来的设计和可靠性问题；气压与“加热温度‑膨胀体积”曲线的斜率成正比，因此传感器的输出特性为线性，同时温漂小，传感器的设计灵活度高。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 气压 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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