[发明专利]光栅位移测量装置有效
| 申请号： | 202010953671.5 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112097652B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘兆武;刘林;李文昊;于宏柱;姚雪峰;吉日嘎兰图;王玮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光栅位移测量装置，包括转向干涉测量读数头和信号处理系统，转向干涉测量读数头包括光源、光学结构、两组分束结构和光电接收模块；其中，光源用于发出线偏振光，线偏振光经准直后出射到光学结构；光学结构用于将线偏振光垂直入射到测量光栅的表面，以及将衍射后产生携带测量信息的±1级衍射光入射至两组分束结构；两组分束结构用于分别对±1级衍射光进行分束，产生相位差为90°的四路干涉信号；光电接收模块用于接收四路干涉信号，在光电转换后传输到信号处理系统；信号处理系统用于对四路干涉信号进行相移计算，得到测量光栅的位移量。本发明具有结构更加紧凑、电子元件集中、扩展性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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