[发明专利]套刻误差动态抽样测量方法及装置在审
| 申请号： | 202010948703.2 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN114167687A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 梁时元;丁明正;贺晓彬;白国斌;刘强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种套刻误差动态抽样测量方法及装置，所述方法包括：获取晶圆上所有套刻标识的信息，所述所有套刻标识由所述晶圆上每个曝光单元中的套刻标识组成；将所述晶圆上所有套刻标识分成至少两大组；按照预先确定的选择顺序，依次选择每个相应大组的套刻标识测量所述晶圆的套刻误差；所述选择顺序用于指示所述至少两大组套刻标识的循环选择顺序。本公开通过多个套刻误差测量方案循环测量套刻误差，能够在不影响生产效率的情况下，更加准确地测量套刻误差。 | ||
| 搜索关键词： | 误差 动态 抽样 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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