[发明专利]工具中ESD事件监测方法和设备在审
| 申请号： | 202010947085.X | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN112327069A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 莱尔·D.·尼尔森;史蒂文·B.·海曼;马克·E.·霍塞特 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在本发明的一个实施例中，公开了一种用于静电放电(ESD)事件监测的设备，所述设备并入有带电器件模型事件模拟器(CDMES)单元，所述设备包括：至少一根天线，所述天线位于处理区域中；ESD检测器，所述ESD检测器耦接至所述至少一根天线；所述ESD检测器无线地耦接至所述CDMES单元；以及所述ESD检测器针对由所述CDMES单元产生的不同放电能量而经校准。 | ||
| 搜索关键词： | 工具 esd 事件 监测 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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