[发明专利]真空装置、方法和电极的应用有效
| 申请号： | 202010942138.9 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112481598B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·尼德劳森;马库斯·弗克特 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C23C16/44;C23C14/30;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 谭营营;王朝辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 按照不同的实施方式，真空装置(100至900)可以具有：用于在第一区域中贴近辊套(112m)地并且在第二区域中离开辊套(112m)地提供运输路径(111p)的运输辊(112)，该运输辊具有介电的辊套(112m)；气体分离结构(302)，该气体分离结构提供分离气体的空腔(302h)，其中，空腔(302h)从第一区域中的运输路径(111p)延伸到第二区域中的运输路径(111p)并且与辊套(112m)邻接；用于激发气体放电的电极(304)，其中，该电极(304)布置在空腔(302h)中。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 方法 电极 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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