[发明专利]一种消除扭矩的在超高真空系统中固定样品托的装置有效

专利信息
申请号: 202010940855.8 申请日: 2020-09-09
公开(公告)号: CN112179929B 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 朱红恩;孙喆;崔胜涛;刘毅;张国斌 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: G01N23/2204 分类号: G01N23/2204;G01N23/2273;B25B11/00
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种消除扭矩的在超高真空系统中固定样品托的装置,属于超高真空固定样品托设计领域。包括磁力杆、线性驱动器、机械手模块;固定样品托的两颗螺钉具有相反的螺纹,通过机械手模块的反向同时旋转带动样品托上两颗螺钉的同时紧固,通过线性驱动器的移动,使得机械手模块能够实现前进后退的可调控性,从而可以在超高真空系统中在固定样品托的同时也消除了扭矩。本发明具有实用性、独立性,符合超高真空系统传动部件设计要求。
搜索关键词: 一种 消除 扭矩 超高 真空 系统 固定 样品 装置
【主权项】:
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