[发明专利]一种溅射环配件表面花纹的加工方法有效
| 申请号： | 202010935763.0 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112318063B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王绍帅;张延宾;张晓娜;李玉鹏;宋艳青;董泽坤;曾浩;贺昕 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23Q3/06;B23Q11/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于半导体靶材领域的一种溅射环配件表面花纹的加工方法；其中先棒料放入工装进行装卡，并紧固，随后对棒料精车外圆、直径滚花、打内孔以及外圆底部滚花；将棒料切断，取出安装配件冒坯料；随后使用内撑的方式将安装配件冒坯料紧固于三个带柱卡爪工装的支撑柱外；然后精车去除安装配件冒坯料中配件端面外的小凸台，获得安装配件冒；对安装配件冒的配件圆弧区域进行滚花；最后取下安装配件冒，再对安装配件冒的配件端面进行压花。本发明采用工装内撑的方式，将配件紧固在工装凸台上，使配件内部与工装凸台充分贴合，可避免传统装卡方式造成的装卡不紧，车削、花纹加工过程中发生晃动，造成花纹深浅不一致，产品良率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 配件 表面 花纹 加工 方法 | ||
【主权项】：
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