[发明专利]垂直腔表面发射激光器（VCSEL）的测量方法及VCSEL磊芯片测试治具有效
| 申请号： | 202010934171.7 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112461507B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 黄朝兴;金宇中;戴文长 | 申请（专利权）人： | 全新光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01J3/26;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的测量方法及VCSEL磊芯片测试治具，尤其是可以测量背面出光型VCSEL的反射频谱中的法布里‑珀罗标准具(Fabry–Perot Etalon)。通过测量设备测量VCSEL磊芯片，其中使测量设备的测试光源向该VCSEL磊芯片的基板表面入射，而测量得到VCSEL反射频谱中的法布里‑珀罗标准具。通过VCSEL磊芯片测试治具而使背面出光型的VCSEL能直接被现有测量设备测量，如此不须变更测量设备的光学设计，且能避免VCSEL磊芯片被刮伤或污染。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 表面 发射 激光器 vcsel 测量方法 芯片 测试 | ||
【主权项】：
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