[发明专利]一种三维物镜定位装置及其安装方法有效
| 申请号： | 202010922734.0 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112526699B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 江颖;边珂;郑闻天 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G02B7/08 | 分类号： | G02B7/08;G02B7/02 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 陈亚斌;关兆辉 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及精密致动技术领域，具体而言，涉及一种三维物镜定位装置及其安装方法。包括物镜、纵向致动机构、第一横向致动机构、第二横向致动机构、纵向精聚焦机构和二维扫描台。本发明通过纵向致动机构、第一横向致动机构和第二横向致动机构堆叠排列，并将纵向精聚焦机构集成在纵向致动机构内部的方式使得整体装置的结构更为紧凑稳固且占用体积小。同时，本发明采用改良后具备高驱动能力的潘式步进电机结构，使得三维定位移装置的定位精度高，移动范围大，且负载承受能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 物镜 定位 装置 及其 安装 方法 | ||
【主权项】：
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