[发明专利]单片集成式VCSEL芯片在审
| 申请号： | 202010919648.4 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN114142346A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 郭铭浩;林珊珊;王立;李念宜 | 申请（专利权）人： | 浙江睿熙科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/42 | 分类号： | H01S5/42;H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓飞 |
| 地址： | 311113 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种单片集成式VCSEL芯片，其包括第一VCSEL子芯片，所述第一VCSEL芯片包括以第一阵列布设的多个第一VCSEL单元；以及与所述第一VCSEL子芯片单片集成地第二VCSEL子芯片，所述第二VCSEL子芯片包括以第二阵列布设的多个第二VCSEL单元；其中，所述第一VCSEL子芯片与所述第二VCSEL子芯片在结构上共用N‑DBR结构。这样，所述单片集成式VCSEL芯片在晶圆级别上实现将多个VCSEL芯片进行单片地集成，以使得其能够兼具不同的VCSEL芯片各自的优势，且具有相对较小的整体尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 集成 vcsel 芯片 | ||
【主权项】：
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