[发明专利]一种相变材料、相变存储单元及其制备方法在审
| 申请号： | 202010907768.2 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN112133824A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 宋志棠;宋三年;薛媛;王若冰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L27/24 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 魏峯;黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种相变材料、相变存储单元及其制备方法。该相变材料的化学式为Ta |
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| 搜索关键词： | 一种 相变 材料 存储 单元 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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