[发明专利]缺陷检测方法、装置、设备及计算机存储介质有效
| 申请号： | 202010907198.7 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN111812105B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 艾立夫;赵东峰;董立超;刘宝山;刘艺;朱春霖;彭旭 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 薛福玲 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷检测方法、装置、设备及计算机存储介质，该方法包括：构建已标定缺陷尺寸的目标晶圆；采集目标晶圆对应的缺陷图像，并获取目标晶圆对应的缺陷图像的灰度值；确定目标晶圆标定的缺陷尺寸，以根据所述目标晶圆对应的缺陷图像的灰度值与所述目标晶圆标定的缺陷尺寸获得缺陷尺寸映射函数；基于所述缺陷尺寸映射函数，获取待测试晶圆对应的缺陷尺寸。由此，通过利用目标晶圆对应的缺陷图像的灰度值与目标晶圆标定的缺陷尺寸获得缺陷尺寸映射函数，进而利用缺陷尺寸映射函数及晶圆中缺陷图像的灰度值实现晶圆任何尺寸缺陷的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 装置 设备 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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