[发明专利]激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法有效
| 申请号： | 202010904043.8 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN111999989B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王新兵;左都罗;马修泉;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 纪婷婧 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。其中，激光等离子体极紫外光源，真空靶室、光学透镜模组、液滴靶发生器和用于收集极紫外光的收集镜；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；液滴在真空靶室的移动线路经过光学焦点，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光；收集镜的收集方向与激光入射方向垂直，且不与液滴的移动方向平行。光学透镜模组的焦点处于真空环境，避免了对其它设备的损坏。同时，本申请的收集器的收集方向与激光入射方向垂直，收集镜的中间不需要开设孔，从而可以收集到更多的光，提高收集效率，进一步的提高了光源的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 等离子体 紫外 光源 紫外光 产生 方法 | ||
【主权项】：
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