[发明专利]一种光学镜面在线检测方法及检测装置在审
| 申请号： | 202010902383.7 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN114112318A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王建磊;陈明;高雅;丁建永;周军;陈卫标 | 申请（专利权）人： | 南京先进激光技术研究院;中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/95 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 刘菊兰 |
| 地址： | 210038 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学镜面在线检测方法及检测装置，所述光学镜面在线检测方法使用共焦检测原理，通过变焦镜组获取光学镜面图像，使用图像放大装置将光学镜面图像放大，最后对放大后的图像进行检测，定位和标定损伤点；所述光学镜面在线检测装置包括指示光源、反光镜、分光镜、变焦镜组和图像检测单元，图像检测单元包括图像放大装置和图像检测组件，分光镜和反光镜分别安装在变焦组件的上方和下方；图像放大装置、图像检测组件顺序固定在分光镜的反射光路上；本发明同时对光学镜面扫描检测和精细检测，检测精度高，检测装置整体结构简单紧凑，体积小，可显著提高激光待检测光路的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 在线 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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