[发明专利]用于石英部件的表面处理方法在审
| 申请号： | 202010883169.1 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN114102440A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 袁家周 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/04 | 分类号： | B24C1/04;B24B1/04 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 该发明公开了一种用于石英部件的表面处理方法，包括：对所述石英部件进行喷砂；对喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理，以去除所述石英部件表面形成的尖角；对所述石英部件进行侵洗；对侵洗后的所述石英部件进行干燥。所述用于石英部件的表面处理方法能够增加石英部件表面粗糙度，增强石英部件的附着力，还能够去除石英部件喷砂后形成的尖角，以避免石英部件在制成过程中表面形成线状膜，提高晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 石英 部件 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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