[发明专利]基于类三明治结构界面和复合材料的二向色镜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010876602.9 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN112063974B 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 朱美萍;刘天宝;李静平;李大伟;刘晓凤;赵元安;邵建达 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/54;G02B1/10
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种基于类三明治结构界面和复合材料的二向色镜及其制备方法。利用电子束蒸发技术同时沉积折射率大于1.8的材料A和光学带隙大于6.0eV的材料B形成复合材料取代常规二向色镜薄膜中的单一高折射率材料作为高折射率膜层H,利用单一低折射率材料C作为低折射率膜层L;通过控制材料A、材料B和材料C的沉积速率,在高折射率膜层和低折射率膜层间形成类三明治结构的过渡界面,该过渡界面结构为A+B渐变材料层|A|A+C渐变材料层。本发明将高折射率膜层和低折射率膜层界面设计为类三明治结构的过渡界面,在不影响薄膜光谱性能的前提下提升二向色镜的界面结合力和激光损伤阈值等性能。
搜索关键词: 基于 三明治 结构 界面 复合材料 及其 制备 方法
【主权项】:
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