[发明专利]一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010867163.5 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN111732068B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 何云;刘桂芝 | 申请（专利权）人： | 上海南麟集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法，该传感器包括衬底、发光二极管、光电检测二极管、第一悬臂梁波导及第二悬臂梁波导，其中，发光二极管发出的部分光线通过第一悬臂梁波导进行传输，并通过两个悬臂梁波导之间的空气或者介质耦合到第二悬臂梁波导，最后传输到光电检测二极管转换为输出电信号，外加触觉力会改变两个波导之间的光传输耦合比，根据光电检测二极管的输出电流变化可获得触觉力信息。本发明基于力‑位移‑光‑电式检测原理，具有灵敏度高、响应速度快和抗电磁干扰能力强的优势，器件结构紧凑、体积小，构成传感阵列后具有较高分辨率。该器件可利用成熟的MEMS工艺线进行批量化加工，有利于降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 波导 耦合 光电 mems 触觉 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海南麟集成电路有限公司，未经上海南麟集成电路有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010867163.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
