[发明专利]一种通过导向框多线切割晶锭的方法有效

专利信息
申请号: 202010859710.5 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN112026024B 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 靳霄曦;张继光;徐伟;魏汝省;赵丽霞;李斌;樊晓 申请(专利权)人: 山西烁科晶体有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/04
代理公司: 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 代理人: 崔雪花;冷锦超
地址: 030006 山西省太*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及一种通过导向框多线切割晶锭的方法,属于晶体材料切割技术领域;解决现有晶锭多线切割的过程中晶锭边缘易损伤,出现断线裂片的现象;具体步骤为:先将晶锭圆柱面外圈粘接一层导向条;使用正方形陶瓷导向框,将晶体粘接至导向框中央凹槽内;再将导向框粘接到切割底座上;将切割底座夹装好后,开始多线切割;本发明通过将晶锭粘结导向框,依附导向框进行切割,可以有效减少切割过程中线震动对晶锭边缘的损伤;降低断线风险;减小裂片风险;将切割工艺近似为一步工艺,降低切割工艺编写难度。
搜索关键词: 一种 通过 导向 框多线 切割 方法
【主权项】:
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