[发明专利]一种梳齿结构、其制备方法及麦克风在审
| 申请号： | 202010850940.5 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111943127A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 但强;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;H04R1/08 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种梳齿结构、其制备方法及麦克风。本发明的梳齿结构的第二梳齿和第一梳齿之间形成梳齿对，且第二梳齿和第一梳齿的偏置量可通过沉积的材料厚度精确控制；第二梳齿和第一梳齿之间的间隙精确可控，且第二梳齿和第一梳齿之间的一致性好；第二梳齿和第一梳齿之间存在初始的重叠部分可以精确控制，使得梳齿结构既可用于驱动也可用于检测，制备梳齿结构的材料层不限，只要满足针对各层的绝缘和导电要求，同时工艺兼容即可，第二梳齿和第一梳齿之间的可驱动电压和接地可以互换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梳齿 结构 制备 方法 麦克风 | ||
【主权项】：
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