[发明专利]快速测量金属表面电场噪声的装置及方法有效
申请号: | 202010849030.5 | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN111856165B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 陈亮;张航;魏雅琪;刘志超;李冀;冯芒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 |
主分类号: | G01R29/26 | 分类号: | G01R29/26;G01R1/02;G01R1/04 |
代理公司: | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人: | 李鹏;王敏锋 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了快速测量金属表面电场噪声的装置,包括真空腔、CCD摄像机、第一真空角阀、离子泵、真空挡板阀门、三通真空连接器、第二真空角阀、三维驱动器、三维纳米移动台和待测样品架,还包括设置在真空腔内的芯片支撑架,芯片支撑架上设置有钙原子炉和滤波电路板,滤波电路板的芯片放置孔内设置有离子阱芯片。本发明还公开了快速测量金属表面电场噪声的方法,包括离子囚禁与激光冷却,离子量子态的操控,通过CCD摄像机的离子成像和数据处理。本发明可以在不破坏离子阱真空度的情况下,快速更换待测金属样品;同时,在降低测量操纵难度的情况下,通过CCD摄像机离子成像提供更为简单快速的方法检测待测金属样品的表面电场噪声。 | ||
搜索关键词: | 快速 测量 金属表面 电场 噪声 装置 方法 | ||
【主权项】:
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