[发明专利]一种固定式磨头结构及其无边缘误差加工方法有效
| 申请号： | 202010843847.1 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112059815B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 万嵩林;魏朝阳;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B13/01 | 分类号： | B24B13/01;B24B41/04;B24B47/20;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于光学抛光领域，具体为一种固定式磨头结构及其无边缘误差加工方法。该磨头采取固定式磨头结合多层弹性垫实现工具可以完全伸出边缘的能力同时保证对复杂表面的贴合；工具采取仅自转方式、结合恒定压力进行定量修形。加工通过采集得到的去除函数结合Preston方程生成路径上各点的实际去除函数；然后基于实际去除函数求解驻留时间，最后生成控制程序对工件进行抛光。本发明中，固定式磨头能够伸出边缘解决方程超定问题，同时基于实际去除函数精确求解加工驻留时间，从而彻底解决小磨头边缘效应的顽疾，相比传统小磨头，该磨头制造成本及对机床控制精度要求无任何增加，这为全口径加工提供了一种更优的解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 式磨头 结构 及其 边缘 误差 加工 方法 | ||
【主权项】：
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