[发明专利]用于光声气体传感器的检测器单元和光声气体传感器在审
| 申请号： | 202010836799.3 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112414947A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | T·米特雷德;C·格拉策 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄倩 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及用于光声气体传感器的检测器单元和光声气体传感器。用于光声气体传感器的检测器单元包括第一层结构、布置在第一层结构处并且包括膜结构的第二层结构、以及布置在第二层结构处的第三层结构。第一层结构和第三层结构气密地封闭腔，其中膜结构被布置在腔中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 声气 传感器 检测器 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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