[发明专利]热释电传感器的感应元及其制造方法、热释电传感器在审
| 申请号： | 202010826043.0 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111933786A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 路卫华;肖涛;黄伟林 | 申请（专利权）人： | 东莞传晟光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;G01J5/34 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良;王少虹 |
| 地址： | 523651 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热释电传感器的感应元及其制造方法、热释电传感器，感应元的制造方法包括以下步骤：S1、提供绝缘衬底和PZT片；S2、分别在所述绝缘衬底和PZT片的一面上镀设金属，形成金属镀膜；S3、将所述绝缘衬底和PZT片以所述金属镀膜相向进行叠置，两层所述金属镀膜进行键合使所述PZT片复合在所述绝缘衬底上；S4、对所述PZT片进行研磨，使所述PZT片的厚度减薄至0.015mm‑0.065mm；S5、在所述PZT片制作电极层，获得感应元。本发明的热释电传感器的感应元，通过金属镀膜将绝缘衬底和PZT片键合，再通过研磨PZT片实现其超薄厚度，显著改善感应元的热释电系数、内阻、介电常数和电容效应，提高机械强度，实现大尺寸加工，利于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 热释电 传感器 感应 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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