[发明专利]一种蒸镀设备和蒸镀方法在审
| 申请号： | 202010817608.9 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111945116A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 颜明哲 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种蒸镀设备和蒸镀方法，该蒸镀设备包括：至少一个轨道、至少一个蒸发源和至少两个作业单元。蒸发源沿轨道运动，作业单元设置在轨道的正上方且各作业单元在轨道上的正投影不交叠，作业单元用于放置待蒸镀基板，蒸发源沿轨道运动时经过各作业单元下方一次。本申请提供的蒸镀设备，由于蒸发源经过各作业单元下方一次，避免现有技术中的蒸发源往、返经过两次作业单元，能够有效减小对待蒸镀基板的热辐射，从而进一步避免基板受损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 方法 | ||
【主权项】：
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