[发明专利]一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置

摘要

本发明提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，包括氢气源、接收瓶和气化装置，所述氢气源通过输气管连接在接收瓶，所述气化装置设置在氢气源和接收瓶之间的输气管上，所述氢气源与气化装置之间设置有定量装置，通过定量装置控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶内设置有混合装置，通过混合装置对接收瓶内得气体进行混合。解决了液态MO源定量转移至钢瓶问题。管线置换与物料转移步骤合并，既保证了安全也保证了物料的100%转移，浓度控制好。做到更精确，质量更高，大大提高了混合气的配置效率，降低了安全风险、质量风险。