[发明专利]一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置及其方法在审
申请号: | 202010781810.0 | 申请日: | 2020-08-06 |
公开(公告)号: | CN111766151A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 郑伟扬;周宇 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N3/08 | 分类号: | G01N3/08;G01N3/04;G01N3/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置及其方法,包括两个夹具、四个石墨卡瓣和两个拉力机拉头;每个夹具通过两片对称的夹具框抱合后四周固定而成;夹具框内壁设有用于放置石墨卡瓣的凹槽;石墨卡瓣两个为一组,抱合于对应夹具的凹槽内;石墨卡瓣的内壁设有卡合单晶硅棒端部的凹槽;单晶硅棒由两端凸起的硅棒端部以及中部的硅棒测试段所组成;待测试的单晶硅棒位于两侧的夹具之间,两端的硅棒端部分别卡合于两侧的夹具内;夹具远离单晶硅棒的端部,分别与对应的拉力机拉头固定连接,通过两个拉力机拉头施加的水平拉力,拉动两个夹具朝着水平相反方向移动,直至将单晶硅棒的硅棒测试段拉断。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 抗拉强度 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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