[发明专利]体声波谐振器在审
申请号: | 202010776725.5 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN112688659A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 李泰京;韩相宪;申兰姬;孙晋淑 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 钱海洋;金光军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器可包括:基板;谐振器单元,包括设置在所述基板上的第一电极、设置在所述第一电极上的压电层以及设置在所述压电层上的第二电极;以及保护层,设置在所述谐振器单元的表面上。所述保护层利用金刚石膜形成,并且所述金刚石膜的晶粒尺寸为50nm或更大。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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