[发明专利]一种无损测量薄膜的探针和测量仪器有效
| 申请号： | 202010774511.4 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111896782B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 郁彩艳;白莹;赵慧玲;李世玉;尹延锋 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/00 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张真真 |
| 地址： | 475004 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无损测量薄膜的探针及测量仪器，包含导电针体、导电弹性针头、固定环、感应收缩簧。感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头一定距离，能够监测到与纳米级厚度薄膜的接触和接触后的应力大小，能够精准地控制再次推进时间，使探针恰好接触薄膜而不损坏薄膜。该探针及测量仪适合对半导体薄膜进行接触式无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无损 测量 薄膜 探针 仪器 | ||
【主权项】：
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