[发明专利]一种热氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法

摘要

本发明涉及SE—PERC太阳能电池生产领域。一种热氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法，在硅片双面形成绒面；在硅片表面进行磷扩散，磷扩散后硅片方阻为100‑170Ω/sq；在硅片正面进行激光重掺杂，完成后，硅片重掺杂区域方阻与未掺杂区域方阻差值为30‑70Ω/sq；在硅片正面重掺杂区形成热氧化二氧化硅保护层，二氧化硅保护层厚度为1.0‑4.0nm；去除硅片背面磷硅玻璃；对硅片背面进行碱抛光；对硅片进行氧化处理；在硅片正面沉积氮化硅膜；在硅片背面沉积钝化膜；对硅片背面进行激光开膜；在硅片背面印刷背电极银浆、背电场铝浆，正面印刷正电极银浆；进行高温烧结，形成硅基电池；烧结完成后的硅基电池进行电注入。