[发明专利]离子源的电源系统及离子源装置

摘要

本申请涉及一种离子源的电源系统及离子源装置，该电源系统包括电源控制系统，驱动电源，至少两个调压电路；其中，电源控制系统连接驱动电源，驱动电源具有多个并联的电压输出通道，每个电压输出通道分别连接一个调压电路，每个调压电路连接至少一个霍尔离子源；电源控制系统控制驱动电源对输入电压进行变压，并将变压电压分别通过各个电压输出通道输入调压电路，各个调压电路分别对变压电压进行调压，并将调压电压输出至相应的霍尔离子源。离子源装置包括由多个霍尔离子源组成的离子源阵列，至少两个霍尔离子源通过上述的电源系统进行供电。该技术降低了电源系统的设备成本，避免了同一真空腔室的互相串扰问题，也降低了设置操作复杂性。