[发明专利]离子源装置在审
| 申请号： | 202010752790.4 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111769024A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;赵刚;冀鸣;易洪波 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源装置，包括：一霍尔离子源以及至少两个中空阴极；各个所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处；各个所述中空阴极设计为所述霍尔离子源提供中和电子，且在其中任何一个中空阴极失效时，切换至其他中空阴极向所述霍尔离子源提供中和电子。本申请的技术方案，实现了中空阴极的备份功能，避免了在镀膜使用过程中，当中空阴极的钽管使用寿命结束时出现最后一炉费炉或需要重新破真空更换钽管的情况，从而可以将中空阴极的钽管使用寿命最大化，实现离子源长时间不间断工作。避免中和器失效导致产品报废的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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