[发明专利]一种简易的光学件波前测量方法有效
申请号: | 202010750380.6 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN112097923B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 张芬;陈建林;林玲 | 申请(专利权)人: | 福建华科光电有限公司 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
代理公司: | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人: | 范小清 |
地址: | 350000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明一种简易的光学件波前测量方法,需提供沿光路方向分布的准直光源、被测光学元件和光斑测试仪,所述方法包括:从所述准直光源出射两准直光束,分别为准直光束11和准直光束12;在无被测光学元件的情况下,两准直光束直接从准直光源入射到光斑测试仪上时,读取两准直光束对应的第一光斑位置信息;在有被测光学元件的情况下,读取两准直光束经被测光学元件折射后的第二光斑位置信息;利用两次读取到的光斑位置信息计算两准直光束在被测光学元件的第二个表面的入射角;根据入射角计算被测光学元件的第二个表面的曲率半径r,从而计算波前W。本发明测量方法,可快速计算测量结果,且所采用的光路结构简单,设备成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 简易 光学 件波前 测量方法 | ||
【主权项】:
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