[发明专利]一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统及方法在审
| 申请号： | 202010747750.0 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111857199A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王战;李欣 | 申请（专利权）人： | 朗阁仪器（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 刘影 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统及方法，属于实验设备领域，包括在真空泵与受控腔体之间的慢抽管路上设置至少两个串联的电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀，包括以下步骤；S1、在缓冲空间内形成真空区，所述第一电磁阀和第二电磁阀内部的死体积与二者之间的慢抽管路形成缓冲空间，打开第一电磁阀并保持一段时间后关闭，从而在缓冲空间中形成真空区域；S2、打开第二电磁阀并保持一段时间后关闭，从而使受控腔体压力下降，所述受控腔体压力下降的数值在0.1Pa‑10000Pa之间；S3、步骤S1和S2循环操作，从而持续降低受腔体内的压力。本发明成本低，控制逻辑简单，可实现较高精度的变压速率的控制，同时满足了抽空安全性和抽空效率的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 密闭 变压 过程 速率 系统 方法 | ||
【主权项】：
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