[发明专利]一种气体热式质量流量计有效
| 申请号： | 202010745966.3 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111795730B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 冯勇;周昌全;黄立基 | 申请（专利权）人： | 矽翔微机电（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气体热式质量流量计，涉及气体流量测量领域，为解决现有气体热式质量流量计在使用过程中当校准气体和测量气体不一致时受气体组分影响而导致测量精度偏差的问题而设计。该气体热式质量流量计包括流量计主体、MEMS传感元件、控制模块、电池电源模块和流量矫直器，流量计主体具有供气体流动的气流通道，MEMS传感元件安装于流量计主体，且MEMS传感元件的探测部伸入气流通道，探测部包括质量流量传感器，MEMS传感元件还包括热物性传感器，热物性传感器包括两个热敏元件，一个热敏元件被配置为与被测量的气体接触；质量流量传感器和热物性传感器均与控制模块电连接。本发明提供的气体热式质量流量计能够实现与气体组分无关的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 质量 流量计 | ||
【主权项】：
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