[发明专利]基于LRTE-NUFFT的平行平板光学均匀性的测量方法

摘要

本发明公开了一种基于低秩近似和泰勒展开的非均匀快速傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法。首先使用菲索型波长移相干涉仪进行波长调谐移相干涉，分别获得放置待测平行平板和空腔下的干涉图；接着，对干涉图各点的干涉光强数据，进行基于低秩近似和泰勒展开的非均匀快速傅里叶变换，将其转化至频域进行频谱分析；最后，提取不同干涉腔长下对应的频率分量进行逆傅里叶变换获得干涉图的相位信息。将其恢复为波面信息后，计算得到待测平行平板的光学均匀性。本发明采用基于LRTE‑NUFFT的频谱分析法，不需要采用过采样技术，可以大大节约计算机运行时的内存空间，快速计算非均匀干涉数据的频谱估计。