[发明专利]用于洁净室的净化空调系统在审
申请号: | 202010736551.X | 申请日: | 2020-07-28 |
公开(公告)号: | CN111780256A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 王江标;秦学礼;肖红梅;阎冬;李鹏;王威;李传琰;李拨 | 申请(专利权)人: | 世源科技工程有限公司 |
主分类号: | F24F1/0063 | 分类号: | F24F1/0063;F24F1/0073;F24F11/89;F24F11/84 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 朱琳爱义 |
地址: | 100142 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于洁净室的净化空调系统,包括第一夹层空间、过滤装置以及冷却盘管装置,第一夹层空间设置在洁净室外,第一夹层空间为内部具有容纳空间的箱式结构,第一夹层空间与洁净室的进风口连通,洁净室的出风口通过设置在洁净室外的回风夹道与第一夹层空间连通,第一夹层空间通过回风夹道与洁净室建立空气循环回路;过滤装置设置在洁净室的进风口;冷却盘管装置设置于空气循环回路的空气流经路径上,冷却盘管装置位于第一夹层空间内或者回风夹道内,冷却盘管装置内部具有冷媒流通。本发明的用于洁净室的净化空调系统,能耗低,空间占用小,温湿度和洁净度控制精度高,使用效果理想,能够适用于高精度恒温恒湿超净洁净室。 | ||
搜索关键词: | 用于 洁净室 净化 空调 系统 | ||
【主权项】:
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