[发明专利]用于光束位置可视化的系统和方法在审
| 申请号： | 202010735960.8 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN112309813A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | B·斯特拉卡;R·斯莫尔卡;L·克拉尔;J·斯卡利基 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/147;H01J37/26;G01N23/04;G01N23/20;G01N23/225 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于光束位置可视化的系统和方法。通过确定对光束偏转器的第一光束偏转驱动，将带电粒子束（CPB）对准到CPB显微镜的主轴，用于引导所述CPB经过偏离所述主轴的参考位置。在所述CPB显微镜的工作模式期间，所述光束偏转器被提供第二光束偏转驱动，以沿所述主轴传播光束。所述第二光束偏转驱动是基于所述第一光束偏转驱动而确定的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光束 位置 可视化 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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