[发明专利]扭矩传感器、扭矩传感装置、扭矩传感系统及其测量方法在审
申请号: | 202010732002.5 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN111855052A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 汪建平;邓登峰 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01L3/10 | 分类号: | G01L3/10 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 岳丹丹 |
地址: | 310012*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 公开了一种扭矩传感器,包括衬底;扭矩敏感单元,位于所述衬底上,感测转动轴的扭矩形变,输出扭矩感测信号;弯矩敏感单元,位于所述衬底上,感测转动轴的弯矩形变,输出弯矩感测信号。本发明的扭矩传感器通过额外设置弯矩敏感单元,同时获得扭矩感测信号和弯矩信号,采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿,消除弯矩对扭矩感测信号的影响,可以提高测量的扭矩值的准确度。 | ||
搜索关键词: | 扭矩 传感器 传感 装置 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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