[发明专利]一种可集成式中红外光探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010717292.6 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111883643B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;陈阳;黄凯;赵晓蒙;鄢有泉;李忠旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;G01J5/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可集成式中红外光探测器及其制备方法，所述探测器包括自下而上设置的：晶圆衬底；光隔离层；光波导层，光波导层刻蚀有包含光栅耦合器的无源光学器件结构，光栅耦合器正对金属下电极层；介质层，介质层沉积在所述光波导层之上；金属下电极层；敏感材料层，敏感材料层与介质层、金属下电极层为键合结构；金属上电极层，金属上电极层和金属下电极层均设有接出管脚。本发明公开的探测器结构集成了光波导和热释电红外探测器，弥补了中红外集成光学中集成式光探测器的缺失，对于中红外光子芯片的小型化具有重要作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 红外光 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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