[发明专利]一种光学常数测量方法与光学常数测量设备有效
| 申请号： | 202010713019.6 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111912785B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 靳京城;肖海兵;周泳全;徐晓梅;张卫;刘明俊 | 申请（专利权）人： | 深圳信息职业技术学院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/21;G01N21/27;G01N21/41 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请适用于光学分析技术领域，提供了一种光学常数测量方法与光学常数测量设备，光学常数测量方法包括以下步骤：获得包括S偏振态的探测光；将探测光按照第一预设入射角照射设置于基底上的待检测的薄膜，探测光照射基底后，获取探测光的偏振方向与入射面的夹角大于或者等于偏振角的分量作为第一反射光谱数据；根据第一反射光谱数据选择色散模型，根据色散模型组合拟合第一反射光谱数据。采用偏振方向与入射面的垂直分量作为第一反射光谱数据，能够放大探测到的第一反射光谱数据的峰谷幅度，具有更高的解析精度；兼具传统的光度法的简单有效的优点和传统的椭偏法的适用范围广的优点；对于偏振光学元件等薄膜元件更具有参考价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 常数 测量方法 测量 设备 | ||
【主权项】：
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