[发明专利]一种合金靶材的制备方法及用该方法制得的合金靶材有效
| 申请号： | 202010712955.5 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111826625B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 廖龙辉;罗文富;陈发海;罗承钦;叶名飞 | 申请（专利权）人： | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C24/04;B22F1/14;C22C28/00 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 杨光 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市同*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种合金靶材的制备方法及用该方法制得的合金靶材，涉及靶材技术领域，其技术方案要点是：包括以下步骤：S1、制备合金粉末：选择两种金属粉末按要求比例进行混合并置于混粉箱中；S2、准备基管：选取钢管作为靶材的基管，对钢管进行清洁处理、喷砂处理以及打底处理；S3、将合金粉末通过送粉器送至喷涂喷枪中，并在喷涂喷枪中进行二次混合搅拌；S4、转动靶材基管，并将二次混合搅拌的混合合金粉末通过喷枪喷涂在靶材基管的表面上，制得靶材；S5、将喷涂后的靶材进行机加工，制得合金靶材成品。本发明通过在喷涂喷枪中对混合合金粉末进行二次混合搅拌均匀，保证喷涂出的混合合金粉比例不变，具有提高合金靶材制得的精度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 法制 | ||
【主权项】：
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