[发明专利]一种具有调制结构的TiAlN/TaN减摩耐磨纳米多层涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202010694081.5 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111647864A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 周兵;刘竹波;吴玉程;于盛旺;高洁;王永胜;马永;黑鸿君 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 申艳玲 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种具有调制结构的TiAlN/TaN减摩耐磨纳米多层涂层的制备方法。步骤为：将预处理好的硬质合金试样固定在射频和直流脉冲磁控溅射镀膜设备的样品台上，分别在相应的溅射靶位装配高纯钽靶材和钛铝合金靶材，并调节好两靶材与试样之间的距离；抽真空后通入氩气，打开离子源对试样进行离子束溅射清洗；然后关闭离子源，通入氩气与氮气并调节比例后，开启样品台偏压电源、射频溅射电源和直流脉冲电源，调整溅射功率分别依次制备单层厚度一致的氮化钽涂层和钛铝氮涂层；通过控制样品台旋转电机配备的调速器，改变氮化钽涂层和钛铝氮涂层单层的制备时间，进而获得调制周期不同的TiAlN/TaN纳米多层涂层。该方法制备的TiAlN/TaN纳米多层涂层具有较低的摩擦系数和磨损率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 调制 结构 tialn tan 耐磨 纳米 多层 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太原理工大学，未经太原理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010694081.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电气自动化实验装置
- 下一篇：数据处理方法、装置、设备及存储介质
- 同类专利
- 专利分类
