[发明专利]化学机械抛光设备和方法及制造显示装置的方法在审
| 申请号： | 202010662021.5 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN112207709A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 南重建;姜胜培;梁熙星;姜奉求;裵俊和;曺雨辰;秋秉权 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02;B24B37/20 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;冯志云 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种化学机械抛光设备、一种采用化学机械抛光设备的制造显示装置的方法和化学机械抛光方法，化学机械抛光设备包括：输送带，传送基底；抛光头，设置在输送带上方；以及主体部件，主体部件移动抛光头并且向抛光头供应浆料。抛光头包括：第一抛光部件，包括围绕第一浆料出口的第一抛光垫；以及第二抛光部件，围绕第一抛光部件并且包括第二抛光垫。第二浆料出口形成在第一抛光部件和第二抛光部件之间，并且第一抛光部件和第二抛光部件在基本上垂直于基底的方向上是彼此独立地可移动的。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 设备 方法 制造 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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